昨日萬先生提問了關(guān)于多型相變控制技術(shù)是什么？下面一起來認識一下：

碳化硅常見多型包括4H、6H、15R。15R與4H、15R與6H是晶格失配，易產(chǎn)生裂紋。但是，生長中包括兩類問題：4H晶體生長，易出現(xiàn)6H、15R雜相；6H晶體生長，易出現(xiàn)15R雜相。

可能的機理分析：(0001)面的平面區(qū)過大，成的SiC層容易采用不同于上一層的堆疊方式，造成c方向堆疊的不延續(xù)，出現(xiàn)隨機性。降低平面區(qū)大小，形成更多的臺階，這樣至少短期內(nèi)是沒有新層出現(xiàn)，或者說減少新層同時出現(xiàn)的區(qū)域。

可能的應對方法：方案1.調(diào)節(jié)氣氛。氮氣氣氛能夠構(gòu)筑更多的臺階；方案2.籽晶處理。（001）晶面偏4°生長。同樣用于層錯控制技術(shù)。

其實，這里叫做多型相變控制技術(shù)，其實是從結(jié)果出發(fā)的。

技術(shù)點有兩個方向：一是關(guān)注可控的事物，一是關(guān)注結(jié)果。改變可控的事物，這就是技術(shù)；而技術(shù)展現(xiàn)后，實現(xiàn)結(jié)果。這里，也可以拆解為兩個技術(shù)：氣氛類型控制技術(shù)，以及籽晶方向控制技術(shù)。一般，實現(xiàn)一個結(jié)果需要多種技術(shù)的綜合；但是，可能一個技術(shù)實現(xiàn)了多種需要的結(jié)果。

比如，籽晶的引入，使得Lely法升級為物理的氣相輸運法，開創(chuàng)了碳化硅單晶的工業(yè)化。不但擴大了碳化硅單晶的尺寸，也增加了碳化硅單晶的質(zhì)量。